干式螺杆泵：两根互相啮合的螺杆转子在泵腔内反向旋转，气体沿轴向被逐步压缩从吸气口推向排气口。腔内无油（转子不接触、不润滑），因此耐溶剂蒸汽（NMP/电解液），是锂电真空干燥首选。
| 类型 | 极限真空 | 优点 | 缺点 | 锂电应用 |
|---|---|---|---|---|
| 干式螺杆泵 | 1~10 Pa | 无油、耐溶剂、维护少 | 价格高、噪音大 | 真空干燥主力 |
| 罗茨泵（增压） | 0.1~1 Pa | 抽速大、提真空 | 不能单独工作 | 与螺杆泵串联 |
| 旋片泵（油封） | 0.5~5 Pa | 便宜、真空度高 | 有油、怕溶剂 | 实验室/小设备 |
| 水环泵 | 3000~5000 Pa | 耐腐蚀、可抽湿气 | 真空度低 | 粗抽/前级 |
| 现象 | 排查顺序 | 处理 |
|---|---|---|
| 真空度上不来 | ① 入口过滤器堵 → ② 系统泄漏 → ③ 泵转速 → ④ 气镇开度过大 → ⑤ 泵磨损 | 关入口阀测压升率判断泄漏；查过滤器压差 |
| 排气温度过高 | ① 冷却水 → ② 气镇 → ③ 结焦 → ④ 负载大 | 高温是干式泵头号杀手查冷却水流量、开气镇 |
| 异响/振动 | ① 轴承 → ② 联轴器/皮带 → ③ 腔内异物 → ④ 罗茨失步 | 听声定位，停泵检查，严禁带病长跑 |
| 油位涨/乳化 | ① 溶剂/水进油腔 → ② 过滤器失效 → ③ 气镇未开 | 换油+修根因 |
| 停机返油 | ① 单向阀失效 → ② 停机顺序错 | 先关入口阀再停泵；换单向阀 |
| 真空波动大 | ① 缓冲罐积液 → ② 冷凝器效率 → ③ 设备含水多 | 排冷凝液；查冷凝器 |
| 周期 | 项目 |
|---|---|
| 每班 | 真空度/排气温度/电流/异响/油位 |
| 每周 | 过滤器压差、冷却水流量、冷凝器排液 |
| 每月 | 油位、皮带/联轴器、控制柜除尘 |
| 每季度 | 换油（有油泵）、洗过滤器、气镇阀测试 |
| 每半年 | 密封件、单向阀/安全阀、真空计校准 |
| 每年 | 泵体检修、轴承更换、厂商大保养 |
| 单位 | 换算 |
|---|---|
| 1 atm | = 101325 Pa ≈ 0.1 MPa |
| 1 bar | = 100000 Pa |
| 1 mbar | = 100 Pa |
| 1 Torr / 1 mmHg | = 133.3 Pa |
| 表压 -0.1 MPa | ≈ 绝对真空 100 Pa 以下 |